2025-04-25 03:14:48
本文是光學(xué)平臺的基礎(chǔ)技術(shù)知識介紹,使客戶朋友們更好了解光學(xué)平臺,定位光學(xué)平臺需求類型。光學(xué)平臺的專業(yè)術(shù)語:1.振動:通常被認(rèn)為是噪聲,可以分為三大類:地震(地面)振動、聲振動和直接對工作面上的物體施加的力。2.阻尼:指任何使固體內(nèi)的振動衰減為零振幅的過程。它是真實(shí)系統(tǒng)里面抑制或隔離振動時(shí)非常重要的現(xiàn)象,因?yàn)樗鼤⒛芰繌恼駝愚D(zhuǎn)化為其他形式耗散,阻尼是隔振平臺本身的振幅遞減特性。3.柔量:針對光學(xué)平臺的振動響應(yīng)而使用較為普遍的函數(shù),柔量=位移/作用力,單位:m/N 。4.共振:兩個(gè)振動頻率相同的物體,其中一個(gè)發(fā)生振動時(shí),另一個(gè)被引起振動,這種現(xiàn)象叫做共振。光學(xué)平臺的裝配簡單,通過模塊化設(shè)計(jì)可以快速更換光學(xué)元件。浙江光學(xué)平臺廠家直銷
光學(xué)平臺系統(tǒng)選型定位:1.剛性光學(xué)平臺:適用于對隔振要求不高的場合;2.被動隔振光學(xué)平臺分為兩類:非氣浮式隔振光學(xué)平臺:適用于對隔振要求較低的場合,平臺固有頻率5Hz~7.5Hz;氣浮式隔振光學(xué)平臺:適用于對隔振要求較高的場合,平臺固有頻率1Hz~3Hz;3.主動隔振光學(xué)平臺:適用于對隔振要求極高的場合,隔振頻率范圍為0.6Hz~200Hz;4.面包板:適用于對隔振無要求但需機(jī)動靈活的場合;5.光學(xué)平臺附件及配件:根據(jù)實(shí)際使用環(huán)境需求配置。浙江光學(xué)平臺廠家直銷光學(xué)平臺在量子信息技術(shù)實(shí)驗(yàn)中也發(fā)揮重要作用,支撐多種量子光學(xué)器件。
現(xiàn)下科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要更加精密的計(jì)算和測量,因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對隔離的設(shè)備儀器對實(shí)驗(yàn)的結(jié)果測量是非常重要的。具備固定各種光學(xué)元件以及顯微鏡成像設(shè)備等功能的光學(xué)平臺為此成為科研實(shí)驗(yàn)中必備的產(chǎn)品。振源分析,周邊環(huán)境的振動現(xiàn)象無處不在,經(jīng)過甄別后進(jìn)行測試及計(jì)算對比,振源類別、頻率及振幅詳情見下表:隔振三要素:1.被隔振的設(shè)備本身;2.地基(地面)條件;3.設(shè)備與地基之間的隔振臺。光學(xué)平臺的構(gòu)成,光學(xué)平臺主要由4個(gè)部分組成,分別是阻尼面包板、隔振器、支撐腿及自平衡水平調(diào)節(jié)閥。
光學(xué)平臺是一種高精度的光學(xué)定位系統(tǒng),能夠精確控制反射鏡的位置和方向,從而實(shí)現(xiàn)高精度的光學(xué)定位。其結(jié)構(gòu)通常由頂板、底板、側(cè)板、側(cè)面精加工貼臉、蜂窩心和密封杯等部件組成。頂板和底板是光學(xué)平臺的基本結(jié)構(gòu),通常由厚度為5毫米的優(yōu)良鋼板制成。頂板和底板之間的蜂窩心結(jié)構(gòu)是光學(xué)平臺的主要部分,由多個(gè)小蜂窩結(jié)構(gòu)組成,每個(gè)小蜂窩結(jié)構(gòu)都由精確的壓膜工具制成,能夠通過焊接平墊片保證幾何間距。這種蜂窩心結(jié)構(gòu)不僅提供了堅(jiān)固的支撐,還具有優(yōu)良的熱穩(wěn)定性和高精度的幾何穩(wěn)定性。在教學(xué)研究中,光學(xué)平臺幫助學(xué)生理解光學(xué)原理與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的關(guān)系。
所以吹的再厲害再貴的隔振系統(tǒng)在地震發(fā)生的時(shí)候你也做不了實(shí)驗(yàn)。國際上是有環(huán)境振動標(biāo)準(zhǔn)的里邊詳細(xì)說明了各種實(shí)驗(yàn)要求的環(huán)境。即振動通過防振臺傳達(dá)到臺面的剩余振動不影響臺面上的實(shí)驗(yàn)為宜。主動和被動的區(qū)別在于,主動的隔離區(qū)域更大一些,因?yàn)楸粍邮冀K會有共振點(diǎn),主動可以通過電控的電機(jī)來消除這個(gè)共振點(diǎn)。大多數(shù)的激光實(shí)驗(yàn)根本就沒必要上主動,除非臺面上有STAGE的運(yùn)動工件,需要主動的自動找平。主動一般用于曝光機(jī)STAGE,液晶面板劃線機(jī),電鏡,AFM之類的設(shè)備上。對于高功率激光應(yīng)用,光學(xué)平臺需采用耐高溫材料以保護(hù)設(shè)備和實(shí)驗(yàn)**。浙江光學(xué)平臺廠家直銷
光學(xué)平臺在電子芯片制造中,能夠精確支撐各種光刻設(shè)備。浙江光學(xué)平臺廠家直銷
光學(xué)平臺的構(gòu)成,光學(xué)平臺主要由4個(gè)部分組成,分別是阻尼面包板、隔振器、支撐腿及自平衡水平調(diào)節(jié)閥。下面分別介紹這幾個(gè)部分的性能。阻尼面包板:1.井字形焊接芯板,結(jié)構(gòu)示意圖如下所示:不銹鋼頂板和底板的厚度6~10mm(具體視平臺厚度而定)、芯板采用6mm厚鋼板井字形焊接后回火去應(yīng)力處理,頂板具有精密加工的亞光表面;此結(jié)構(gòu)能保證平臺臺面重,穩(wěn)定性好,隔振性能優(yōu)異,適合重負(fù)載使用。2.蜂窩型芯板,結(jié)構(gòu)示意圖如下所示:蜂窩面包板具有阻尼性能良好的結(jié)構(gòu),高剛度及低質(zhì)量特性,蜂窩由經(jīng)過精密壓接的鋼條制成,之后用高抗拉強(qiáng)度的環(huán)氧粘合劑粘結(jié)在一起,有效抗彎;隔離杯的加入可以有效防止工件進(jìn)入蜂窩腔體,保證清潔環(huán)境使用;由于蜂窩鋼條厚度只有0.3mm左右,所以此結(jié)構(gòu)不適合重負(fù)載使用。浙江光學(xué)平臺廠家直銷