2025-06-07 01:01:37
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過(guò)檢測(cè),探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司硅片測(cè)試的目的是檢驗(yàn)可接受的電學(xué)性能。上海手動(dòng)探針臺(tái)哪家好
探針臺(tái)為研究和工程實(shí)驗(yàn)室在測(cè)試運(yùn)行期間移動(dòng)通過(guò)多個(gè)溫度點(diǎn)時(shí),提供前所未有的自動(dòng)化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車(chē)應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境,在越來(lái)越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來(lái)越重要。以前,大多數(shù)芯片在兩個(gè)溫度點(diǎn)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試,通常為20?C(室溫)和90?C?,F(xiàn)在,該范圍已經(jīng)擴(kuò)大到-40?C至125?C,并且可能需要在此范圍內(nèi)的四個(gè)溫度步驟中進(jìn)行一整套測(cè)試。某些情況下需要更普遍的范圍,如-55?C至200?C,晶圓可靠性測(cè)試可能要求高達(dá)300?C的溫度。上海半自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)商盡管隨著探針壓力的增強(qiáng),接觸電阻逐漸降低,終它會(huì)達(dá)到兩金屬的標(biāo)稱(chēng)接觸電阻值。
探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊號(hào)線(xiàn)與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
下面我們來(lái)簡(jiǎn)單講講選擇探針臺(tái)設(shè)備時(shí)需要注意事項(xiàng):一、機(jī)械加工精度;二、電學(xué)量測(cè)精度三、環(huán)境要求,如:真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境及其它。四、光學(xué)成像;五、自動(dòng)化控制精度??傮w而言,具有清晰并高景深的微觀成像,再通過(guò)準(zhǔn)確的探針裝置對(duì)探針進(jìn)行多方向移動(dòng),對(duì)準(zhǔn)量測(cè)點(diǎn),進(jìn)行信號(hào)加載,通過(guò)高精度線(xiàn)纜將所需測(cè)試數(shù)據(jù)傳輸至量測(cè)儀表,以達(dá)到所需得到的分析數(shù)據(jù),所以,如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù),從成像到點(diǎn)針,再到數(shù)據(jù)傳輸每項(xiàng)步驟都會(huì)起到重要的作用,另外振動(dòng)對(duì)精度也有一定的影響。探針卡是自動(dòng)測(cè)試儀與待測(cè)器件之間的接口。
磁場(chǎng)探針臺(tái)主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測(cè)試,能夠提供磁場(chǎng)或變溫環(huán)境,并進(jìn)行高精度的直流/射頻測(cè)量。我們生產(chǎn)各類(lèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),穩(wěn)定性強(qiáng)、功能多樣、可升級(jí)擴(kuò)展,適用于各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)驗(yàn)研究和生產(chǎn)。詳細(xì)參數(shù):二維磁場(chǎng)探針臺(tái),包含兩組磁鐵,可同時(shí)提供垂直與面內(nèi)磁場(chǎng);面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場(chǎng),兼容性強(qiáng);大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時(shí)測(cè)試使用);Y軸提供大行程位移裝置,在不移動(dòng)探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺(tái)傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場(chǎng)方向;至多支持7組探針同時(shí)放置:直流探針(3組)+微波探針(4組);XY軸位移行程±12.5mm,T軸旋轉(zhuǎn)±5°;面內(nèi)磁場(chǎng)單獨(dú)施加時(shí),磁場(chǎng)垂直分量?jī)?yōu)于0.025%。探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,容易引起短路。上海半自動(dòng)探針臺(tái)一般多少錢(qián)
適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。上海手動(dòng)探針臺(tái)哪家好
高精度探針臺(tái):目前世界出貨量的型號(hào)吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn))OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來(lái)源于精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng))為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。上海手動(dòng)探針臺(tái)哪家好