在針對(duì)氦檢儀選擇和安裝真空計(jì)時(shí)，必須考慮其特性和真空測量的特性：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計(jì)可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短，且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計(jì)具有抽氣效應(yīng)，因此指示的壓力低于真空室中的實(shí)際壓力。冷陰極真空計(jì)具有固有的濺射效應(yīng)，這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體（如氬）一起抽空時(shí)尤為明顯。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。當(dāng)烴類存在時(shí)，電離真空計(jì)受到有機(jī)分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應(yīng)一樣，讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計(jì)的開關(guān)點(diǎn)，以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染。強(qiáng)磁場和電場會(huì)影響真空計(jì)的性能。尤其對(duì)于電離真空計(jì)而言。為能夠產(chǎn)生超高真空，必須對(duì)真空設(shè)備，包括真空計(jì)進(jìn)行烘烤。必須遵守技術(shù)要求中規(guī)定的蕞大烘烤溫度和條件。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。金華移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)

氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一、環(huán)境條件，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃，校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對(duì)濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì)，測量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。無錫國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。

氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上，目前通過對(duì)電子線路的改進(jìn)，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號(hào)的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān)，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對(duì)氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對(duì)氦氣抽速的不穩(wěn)定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對(duì)氦離子的散射等等。這些因素對(duì)本底噪聲及靈敏度的影響都很大。

在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動(dòng)并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。③及時(shí)對(duì)泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲(chǔ)存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)，請(qǐng)注意儀器的操作。一旦出現(xiàn)大振動(dòng)、高噪音等狀況時(shí)，儀器在操作過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測器移動(dòng)，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會(huì)對(duì)氦檢儀造成不良影響。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。寧波進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。金華移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。金華移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)