進入無塵車間的有哪些清潔要求?（1）清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；（3）使用已獲批準的潔凈室去污劑；（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。（6）清潔潔凈室的地面應使用拖把。（7）在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。（8）所有的門都需要檢查并擦干。（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。（10）架空地板下也要吸塵及擦拭。（11）三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。（12）工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門遠的地方向門的方向擦。

凈化工程概述復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上，可節(jié)省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易；B.維修設備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化出產線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。